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Étymol. et Hist. 1805 villaiéti (Pouqueville, Voyage en Morée, t. 1, p. 35: cette ville [Andréossa, en Morée] est le chef-lieu d'un villaiéti, et la résidence d'un aga; p. 67: sangiaks ou baronnies, subdivisés en vingt-quatre cantons ou villaiétis), attest. et forme isolées; 1869 vilayet (Journ. offic., 28 mars, p. 426, 3^ecol. ds Littré). Empr. au turcvilâyet « province, préfecture », et celui-ci à l'ar. wilāya « préfecture, gouvernement, administration (d'une province), province », dér. de waliya « être préposé à quelque chose; gouverner, régir, administrer » (d'où wālⁱⁿ« gouverneur, préfet d'une province, wali »).