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Étymol. et Hist. 1. 1377 « rendre moins dense » (Oresme, Ciel et monde, 60c, éd. A. D. Menut, p. 252: se [...] une matiere estoit [...] rarefiee ou estendue au double); 1587 pronom. se rarifier (Du Chesne, Miroir, l. V, p. 182 ds Hug.); 1637 se raréfier (Descartes, Discours de la méthode, V, éd. F. Alquié, p. 622); 2. 1832 pronom. se raréfier « devenir moins nombreux, moins fréquent » (Balzac, L. Lambert, p. 186: les idées se raréfient); 1836 trans. « rendre rare » (Id., Vieille fille, p. 309). Empr. au lat.rarefacere « rendre moins dense » (comp. de rarus « rare; peu dense » et facere « faire, rendre »), avec adapt. au moyen du suff. -fier (-ifier*), cf. liquéfier, putréfier et Nyrop t. 3, § 440.