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Étymol. et Hist. 1611 inviolableté « caractère de ce qui est inviolable » (Cotgr.), ex. isolé; 1789, 8 oct. inviolabilité « privilège d'une pers. déclarée inviolable » (Mirabeau, éd. Buchez et Roux, t. 2, p. 144 ds Brunot, t. 9, p. 734, note 3); 1867 inviolabilité d'un asile (Littré). Dér. de inviolable*; suff. -(i)té*; cf. le lat. chrét. inviolabilitas « inviolabilité (des attributs de Dieu) ».