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Étymol. et Hist. 1787 (G. de Morveau, Nomenclature chimique, p.56 ds DG: Nous avons formé le mot oxide qui d'une part rappelle la substance avec laquelle le métal est uni, qui d'autre part annonce suffisamment que cette combinaison de l'oxigène ne doit pas être confondue avec la combinaison acide); 1801 oxyde (R. J. Haüy, Traité de minér., t.1, Discours préliminaire, p.XXVI). Formé sur le gr. ο ξ υ ́ ς «pointu, piquant, tranchant» d'où «aigre, acide».